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  1. 30 理工学研究科・理工学部(含:旧鉱山・工学資源学部)
  2. 30C 本学関連学会刊行誌
  3. 30C1a 素材物性学雑誌
  4. 第13巻1号 (30C1a)

スパッタ法により作製したCo-Pt薄膜の磁気特性およびMFM探針への応用

http://hdl.handle.net/10295/800
http://hdl.handle.net/10295/800
cdd9809d-4f49-461f-bf10-0f45f115ce36
名前 / ファイル ライセンス アクション
ishio-2.pdf ishio-2.pdf (587.6 kB)
Item type 学術雑誌論文 / Journal Article(1)
公開日 2008-05-14
タイトル
タイトル スパッタ法により作製したCo-Pt薄膜の磁気特性およびMFM探針への応用
言語 ja
タイトル
タイトル Magneti c Properties of Co-Pt Thin Films Prepared by Sputtering Method and Application to MFM tips
言語 en
言語
言語 jpn
主題
言語 en
主題Scheme Other
主題 CoxPt100-x films
主題
言語 en
主題Scheme Other
主題 RF sputtering method
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
資源タイプ journal article
アクセス権
アクセス権 open access
アクセス権URI http://purl.org/coar/access_right/c_abf2
作成者 伊藤, 弘高

× 伊藤, 弘高

ja 伊藤, 弘高

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斉藤, 準

× 斉藤, 準

ja 斉藤, 準

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石尾, 俊二

× 石尾, 俊二

ja 石尾, 俊二

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ITO, Hirotaka

× ITO, Hirotaka

en ITO, Hirotaka

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SAITO, Hitoshi

× SAITO, Hitoshi

en SAITO, Hitoshi

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ISHII, Syunji

× ISHII, Syunji

en ISHII, Syunji

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内容記述
内容記述タイプ Abstract
内容記述 CoxPtlOO-X (33≦x≦97) thin films were fabricated by RFsputtering method with various sputtering Ar gas pressure PAr and film thickness t and applied to hard magnetic tips for Magnetic Force Microscopy(MFM). The coercivity Hc of Co-Pt films, which were fabricated under high Pa,, increased in the Coconcentration range beyond 60at.% Co. The maximum value of μ oHc, 0.27T was obtained for the C079Pt21 films with PA,-10.7Pa and t-40nm. X-ray diffractionan alysis revealed that hcp phase exists in the films with high coercivlty. The anisotropy field μ oHa of the hcp phase was estimated about1.0T by singular point detection technique. The high coercivity of the films is attributed to domain wall pinning from the minor loop behavior. The MFM tips with Co79 Pt21 films on Si can tilevers gave finer contrastin MFM images than commercial CoCr MFM tips for magnetic recording media.
言語 en
出版タイプ
出版タイプ VoR
出版タイプResource http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85
書誌情報 ja : 素材物性学雑誌

巻 13, 号 1, p. 18-22, 発行日 2000-06-01
収録物識別子
収録物識別子タイプ ISSN
収録物識別子 09199853
収録物識別子
収録物識別子タイプ NCID
収録物識別子 AN10140273
出版者
出版者 日本素材物性学会
言語 ja
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Ver.1 2023-07-25 11:59:27.170279
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