| Item type |
学術雑誌論文 / Journal Article(1) |
| 公開日 |
2008-03-12 |
| タイトル |
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タイトル |
3D Field Simulation of Magnetic Thin Film Inductor |
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言語 |
en |
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言語 |
eng |
| 主題 |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Thin film inductor |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Magnetic thin film |
| 主題 |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Eddy current |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
journal article |
| アクセス権 |
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アクセス権 |
open access |
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アクセス権URI |
http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 |
| 作成者 |
FUJIWARA, Toshiyasu
CHOI, Kyung-Ku
SATO, Shigeki
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| 内容記述 |
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内容記述タイプ |
Abstract |
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内容記述 |
The 3D magnetic field simulations with FEM (finite element method) have been performed to predictand understand the performance of Magnetic Thin Film Inductor (MTFl). Inductor structures of planar electroplated Cu spiralcoil, which are sandwiched and underlaid with magnetic thin films, are considered as the simulation models. The inductance increment of 300% compared to air-core inductor was predicted when the sandwiched 5μm thickness magnetic thin film with relative permeability of 600 was adopted. Impedance measurement for the fabricated MTFI showed a good agreement with the simulation result. We also found that the undesirable increment of resistance at high frequency was originated from the eddy current flow through magnetic thin film. |
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言語 |
en |
| 内容記述 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
ICMR2005 |
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言語 |
en |
| 出版タイプ |
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出版タイプ |
VoR |
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出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 |
| 書誌情報 |
en : International Journal of the Society of Materials Engineering for Resources
巻 13,
号 2,
p. 105-108,
発行日 2006-03-01
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| 収録物識別子 |
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収録物識別子タイプ |
PISSN |
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収録物識別子 |
1347-9725 |
| 収録物識別子 |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AA1095475X |
| 出版者 |
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出版者 |
The Society of Materilas Engineering for resources of Japan |
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言語 |
en |
| 関連情報 |
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関連タイプ |
isIdenticalTo |
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識別子タイプ |
DOI |
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関連識別子 |
https://doi.org/10.5188/ijsmer.13.105 |
ijsmer13-2p.pdf (524.5 kB)
