@article{oai:air.repo.nii.ac.jp:00003816,
 author = {今野, 和彦 and IMANO, Kazuhiko},
 issue = {4},
 journal = {日本画像学会誌, NIHON GAZO GAKKAISHI (Journal of the Imaging Society of Japan)},
 month = {Aug},
 note = {本論文では，超音波振動の観測から薄い金属やプラスチック等の薄い試料の形状や欠陥を評価する方法として，圧電振動子を定電圧駆動する方法および光学的に非接触で振動速度を測定する手法を用いて振動速度情報の検出からイメージングを行う方法について述べている．最初に圧電振動子の等価回路解析から圧電振動子を定電圧かつ共振周期を持つ矩形波電圧で駆動する方法について述べた．この方法は，圧電振動子の機械的な残留振動 (リンギング) を押さえることができ，しかも既報に比べ駆動効率が20dB以上向上した．この駆動法を用いて圧電振動子を駆動し，振動子面上に置いたエッチングされた金属薄板のイメージングを行った．イメージングは振動速度の時間差を用いた方法について行った．この結果，数十μmレベルの厚さの差がイメージでき，電子回路基板等の薄い板状の試料の欠陥やイメージングに適用できる可能性を明らかにした．
Constant voltage excitation and its selection of voltage waveform and optical method are introduced into the imaging system for evaluating the thin sample such as electronic device. Information of surface vibration velocity on the piezoelectric transducer and sample are effectively used. Rectangular pulse having the time width of resonance period of transducer was adopted to cancel the mechanical ringing. Exciting efficiency of transducer was improved by lager than 20 dB compared to our previous study. Imaging for the thin brass plate with etched "3" character is clearly imaged using time difference mode. As the result of experiment, possibilities as a tool for evaluating the thin plate like solid sample around several tens of μm such as electronic devices are revealed.},
 pages = {422--425},
 title = {振動速度情報を用いた薄い板状試料の超音波イメージング},
 volume = {57},
 year = {2018}
}