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  1. 30 理工学研究科・理工学部(含:旧鉱山・工学資源学部)
  2. 30A 学術誌論文
  3. 30A1 雑誌掲載論文

Inhomogeneous intrinsic stress in sputtering-deposited platinum films and its effect on the formation of helical structures

http://hdl.handle.net/10295/0002000370
http://hdl.handle.net/10295/0002000370
6fecdfe0-5b87-4f32-b1cd-402d8c21373d
Item type 学術雑誌論文 / Journal Article(1)
公開日 2024-09-01
タイトル
タイトル Inhomogeneous intrinsic stress in sputtering-deposited platinum films and its effect on the formation of helical structures
言語 en
言語
言語 eng
主題
言語 en
主題Scheme Other
主題 Inhomogeneous intrinsic stress
主題
言語 en
主題Scheme Other
主題 Film force
主題
言語 en
主題Scheme UDC
主題 Sputtering
主題
言語 en
主題Scheme Other
主題 Helical structure
主題
言語 en
主題Scheme Other
主題 Platinum
主題
言語 en
主題Scheme Other
主題 Thin films
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
資源タイプ journal article
作成者 Zhao, Xu

× Zhao, Xu

en Zhao, Xu
Department of Systems Design Engineering, Akita University

Search repository
Muraoka, Mikio

× Muraoka, Mikio

en Muraoka, Mikio
Department of Systems Design Engineering, Akita University

Search repository
書誌情報 en : Thin Solid Films

巻 755, p. 139344, 発行日 2022
収録物識別子
収録物識別子タイプ PISSN
収録物識別子 0040-6090
収録物識別子
収録物識別子タイプ EISSN
収録物識別子 1879-2731
出版者
出版者 Elsevier
言語 en
関連情報
識別子タイプ DOI
関連識別子 https://doi.org/10.1016/j.tsf.2022.139344
言語 en
関連名称 Version of record (subscription access)
関連情報
識別子タイプ URI
関連識別子 https://www.sciencedirect.com/science/article/am/pii/S0040609022002589
言語 en
関連名称 Best available version (Version of Record or Accepted Manuscript)
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Ver.1 2024-09-01 01:51:53.109195
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